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深圳市中圖儀器股份有限公司

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光學(xué)3D表面輪廓儀

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

品       牌:中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

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更新時(shí)間:2024-08-09 20:03:49瀏覽次數(shù):838次

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羅健

經(jīng)理
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產(chǎn)地 國產(chǎn) 加工定制
光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效

光學(xué)3D表面輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

 產(chǎn)品功能

1)系統(tǒng)光源及壽命:雙LED光源(白光和綠光),10萬小時(shí)超長壽命,終身無需更換;

2)測量模式:垂直掃描干涉模式(VSI),相移干涉模式(PSI),結(jié)合VSI和PSI的自適應(yīng)通用測量模式(USI)

3)多區(qū)域自動(dòng)分析:自動(dòng)獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息(高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等),同時(shí)具有自動(dòng)統(tǒng)計(jì)分析功能。提供軟件截圖;

4)具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能;

5)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別;

6)具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能;

7)具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能;

8)具備自動(dòng)對焦、自動(dòng)測量、自動(dòng)多區(qū)域測量、自動(dòng)拼接測量等自動(dòng)化功能;

9)具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

10)具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。

光學(xué)3D表面輪廓儀

應(yīng)用領(lǐng)域

  對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例:

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差

超精密加工.光學(xué)透鏡

精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片

精密加工.金字塔型金剛石磁頭

標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度


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